東北大学 研究シーズ集

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試作コインランドリ −MEMS・半導体試作共用設備−

更新:2018-10-16
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特徴・独自性
4インチ、6インチのMEMSを中心とした半導体試作開発のための共用設備で、必要な装置を必要なときに時間単位でお使いいただけます。東北大学に蓄積された関連ノウハウが利用可能で、スタッフが試作を最大限支援します。東北大学西澤潤一記念研究センターの2階スーパークリーンルームのうち、約1,200m2を主に利用しています。装置、料金については、ホームページをご覧ください。

産学連携の可能性(想定される用途・業界)
8年間で約230社の企業が利用しています。MEMSや半導体のデバイスメーカーはもちろん、材料や機械部品メーカー、装置メーカーからも利用があります。各種センサや光学部品、微細金型作製等にお応えできます。

研究者

マイクロシステム融合研究開発センター

戸津 健太郎 准教授 
博士(工学)

TOTSU, Kentaro, Associate Professor

キーワード

関連情報

Accelerating MEMS Development by Open Collaboration at Hands-On-Access Fab, Tohoku University[Sens. Mater., 30, 2018, 701-711]

Top Researchers 2018年10月 試作コインランドリの運営を通じて、企業のイノベーションを推進する http://top-researchers.com/?p=1958
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