東北大学 研究シーズ集

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M4プロセス技術による機能性インターフェース創成

更新:2018-12-17
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 近年、マイクロレンズアレイ、ホログラム光学素子、光導波路などのように、シリコン以外の材料からなるマイクロ部品のニーズが高まってきている。これらの大きざは1mm以下のいわゆるサブミリサイズのものもあり、形状も複雑である。しかも材料自体も高硬度、高脆性、高融点のものが多いため、前述したようなリソグラフィ技術はもちろん、レーザ、電子ビームなどの熱的加工が不向きで、その加工は特に難しい。また加工能率、加工コストの点からも、高能率、低コストの微細加工法が望まれている。本研究室では、機械的な方法でこのようなマイクロ加工を行うマイクロ機械加工(Micro/Meso Mechanical Manufacturing、以下M4プロセスと略記する)の新しい加工原理の開発を行っている。
1. マイクロ非球面研削、2. マイクロ非球面研磨、3. マイクロ非球面レンズアレイのマイクロ切削、4. マイクロアブレイシブジェット(AJM)、5.マイクロパウダージェットポリツシング、6.マイクロ超音波加工 、7.マイクロ放電加工、8.マイクロレーザ加工等。

■産学官連携の強化
 本研究室では、企業との共同研究を積極的に行っております。企業から研究員を受け入れ、加工原理から実際の製品応用までの実用的な指導を行います。また企業からの技術相談は随時お受け致します。さらに、精密加工研究会、ナノ精度機械加工専門委員会を主宰し、企業との交流、連携を図っております。

研究者

医工学研究科

厨川 常元 教授 
工学博士

KURIYAGAWA, Tsunemoto, Professor

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