東北大学 研究シーズ集

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システムの鍵を握るMEMS (微小電気機械システム)の試作研究

更新:2015-10-15
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特徴・独自性
半導体集積回路技術で回路だけでなくセンサや動く機械構造などの多様な要素を集積化した、マイクロシステムやMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)と呼ばれる高付加価値基幹部品を作ることができます。これはスマートフォンのユーザインターフェースなどでも活躍しています。開発が短期間で低コストにできるよう、自作や中古の設備を共有で用いています。またオープンなコラボレーションで情報が集まるようにしています。

産学連携の可能性(想定される用途・業界)
企業が来て共同開発した各種センサやマイクロシステムが、交通機関の安全装備や、情報システム、あるいは製造検査などのシステムに使われています。また情報を蓄積し企業からの相談にのっております。

研究者

マイクロシステム融合研究開発センター

江刺 正喜 教授 
工学博士

ESASHI, Masayoshi, Professor

共同研究者

キーワード

関連情報

特許
第4896198号 触覚センサシステム

著書 
はじめてのMEMS.森北出版,2011.

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