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キーワード「MEMS」 4件

め

〈MEMS〉

光学を基礎としたマイクロ光学デバイスの設計・製作,特に光応用のMEMSや光センサ 羽根 一博 特任教授(研究)
MEMS・マイクロマシンと微細加工技術に関する研究 田中 秀治 教授
マイクロ・ナノマシニング技術を⽤いた低侵襲医療機器・ヘルスケア機器 芳賀 洋一 教授
試作コインランドリ −MEMSを中心とする半導体試作共用設備− 戸津 健太郎 教授

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