東北大学 研究シーズ集

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固液界面真空プロセスの開発とその応用

更新:2020-06-16
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特徴・独自性

様々な物質の液体状態を、真空環境下で安定化させ、そのマイクロ/ナノレベルの成形技術の開発と新規物性調査、およびそのプロセス応用に取り組んでいる。特に、膜厚が数nmのイオン液体膜の作製やSiCなどの無機薄膜の高速VLS成長、イオン液体を介した有機半導体、高分子薄膜・結晶材料の開発を行っている。

産学連携の可能性 (想定される用途・業界)

次世代の半導体プロセス、超高品質無機単結晶薄膜、二次電池電池などのイオニクス、有機太陽電池・デバイスなど。

研究者

工学研究科

松本 祐司 教授 
博士(理学)

MATSUMOTO, Yuji, Professor

キーワード

関連情報

Y. Matsumoto and S. Maruyama,
“Laser deposition of nano-ionic liquids and their process applications in a vacuum,” in Ionic Liquid Devices, edited by A. Eftekhari Smart, Materials Series No. 28 (RSC, London, UK, 2018), Chap. 6.p. 136
DOI: 10.1039/9781788011839

丸山伸伍、松本祐司、
“ イオン液体の真空化学プロセス” ,化学工業、69、41-50(2018)

R. Yamaguchi, A. Osumi, A. Onuma, K. Nakano, S. Maruyama, Y. Mitani, T. Kato, H. Okumura and Y. Matsumoto,
“Effects of Al addition to Si-based flux on the growth of 4H-SiC films by vapor-liquid-solid pulsed laser deposition”, CrystEngComm, 19, 5188-5193 (2017).
DOI: 10.1039/C7CE00945C

山王堂尚輝、小沼碧海、山口 諒、丸山伸伍,松本祐司、
“フラックスエピタキシー法によるSiC結晶成長” 、J. of Flux Growth、14、18-24 (2019).
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