キーワード: ナノインプリント - 東北大学研究シーズ集

キーワード「ナノインプリント」 4件

型の線幅よりも微細な金属配線パターンの作製が可能！	中川勝教授
押し込み弾性率8.4 GPa！原版モールドの複製や欠陥検査を安価に実現	中川勝教授
nm～µmサイズが混在しパターンの粗密がある構造体を精密に製造可能！	中川勝教授
ナノスケール超微細構造を利用した超小型・高機能光デバイスの開発	金森義明教授