キーワード「MEMS」 5件
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〈MEMS〉
| 光学を基礎としたマイクロ光学デバイスの設計・製作，特に光応用のMEMSや光センサ | 羽根 一博 教授 |
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| 試作コインランドリ −MEMS・半導体試作共用設備− | 戸津 健太郎 教授 |
| MEMS・マイクロマシンと微細加工技術に関する研究 | 田中 秀治 教授 |
| 高性能な小型センサ・アクチュエータの設計、製造とテスト | ヨーク フロメル 准教授 |
| マイクロ・ナノマシニング技術を⽤いた低侵襲医療機器・ヘルスケア機器 | 芳賀 洋一 教授 |
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