キーワード: MEMS - 東北大学研究シーズ集

キーワード「MEMS」 5件

光学を基礎としたマイクロ光学デバイスの設計・製作，特に光応用のMEMSや光センサ	羽根一博特任教授（研究）
MEMS・マイクロマシンと微細加工技術に関する研究	田中秀治教授
高性能な小型センサ・アクチュエータの設計、製造とテスト	Froemel Joerg Eckhardt 准教授
マイクロ・ナノマシニング技術を⽤いた低侵襲医療機器・ヘルスケア機器	芳賀洋一教授
試作コインランドリ　−MEMSを中心とする半導体試作共用設備−	戸津健太郎教授