キーワード「TSV(シリコン貫通配線)」 1件 て 〈TSV(シリコン貫通配線)〉 new次世代AI・エッジ計算基盤を支える三次元ヘテロ集積技術(チップレット集積技術)と、生体適応型フレキシブル・ハイブリッド・エレクトロニクス(FHE)の創成 福島 誉史 教授