キーワード: 微細加工 - 東北大学研究シーズ集

キーワード「微細加工」 4件

ナノインプリントリソグラフィによる先進光機能材料のナノファブリケーション	中川勝教授
MEMS・マイクロマシンと微細加工技術に関する研究	田中秀治教授
ナノスケール超微細構造を利用した超小型・高機能光デバイスの開発	金森義明教授
試作コインランドリ　−MEMSを中心とする半導体試作共用設備−	戸津健太郎教授