キーワード「配線」 2件 は 〈配線〉 型の線幅よりも微細な金属配線パターンの作製が可能! 中川 勝 教授 電子デバイスの高性能・高信頼化のための配線材料と形成プロセスの開発 小池 淳一 特任教授(研究)