東北大学 研究シーズ集

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非水浸超音波可視化手法

更新:2011-04-12
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 水と被検査物との間に固体薄膜を挿入し、薄膜と被検査物との界面に負圧力を付与した状態で高周波数超音波を伝達する独自のドライ超音波法(日本国特許第3709559号)を開発しています。当該原理に基づき試作したドライ超音波顕微鏡により、これまで実現されていなかった水非接触下における電子デバイス内部の高分解能可視化に成功しています(図1)。さらに音響整合層として機能する高分子薄膜を挿入することで、従来水没時よりも高画質な内部画像を得ることも可能にしました(図2)。また、超音波が薄膜を通過する際に生じる音響共鳴現象を利用して、高分子フィルムの音響物性値を測定(図3)するなど、薄物材料の高精度な非破壊評価が可能です(日本国特許第4403280号)。 この技術を産業界で活用したい企業や団体との共同研究を希望します。

研究者

工学研究科

燈明 泰成 准教授 
工学博士

TOHMYOH, Hironori, Associate Professor

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