押し込み弾性率8.4 GPa!原版モールドの複製や欠陥検査を安価に実現


更新:2024/01/23
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概要

ポリイミドより強靭な樹脂モールド
https://www.t-technoarch.co.jp/data/anken/T11-053.pdf

従来技術との比較

無機ナノ粒子が高含有率で存在するためシランカップリング剤による表面処理により、繰り返し離型が可能な離型層を付与することができます。有機無機ハイブリッド化により、高強度と高耐久性を実現しました。

特徴・独自性
  • ・極細の45nmのライン-アンド-スペースパターンの繰返し転写が行えます。
  • ・室温での光ナノインプリント成形にて、モールドを作製することができます。
実用化イメージ

ナノ構造オプティクス、平面レンズなどの光学用途をはじめ、様々な光学・電気デバイスの材料加工を行うための成形型としての活躍が期待されます。

キーワード

研究者

多元物質科学研究所
附属マテリアル・計測ハイブリッド研究センター
光機能材料化学研究分野

中川 勝 教授 
博士(工学)(上智大学)/修士(工学)(上智大学)

Masaru Nakagawa, Professor