モールドエッジにバリが発生せず、均一な残膜が得られる光ナノインプリント方法
https://www.t-technoarch.co.jp/data/anken/T19-159.pdf

スピン塗布膜への光型成形では、モールド（型）の側壁の汚染が繰り返し利用を妨げます。所定量の液量を印刷液滴の配置数で規定できるので、モールド外周部への光硬化性液体の回り込みを防ぐことができます。

• サブピコリットルの定形液滴を印刷配置できる孔版印刷です
• 孔版印刷の版はレーザー加工で作製するため従来のような印刷欠陥がありません
• 膜厚10nmから光硬化膜を所定位置に形成できます
• 印刷配置を制御できるので、型表面にあるパターン密度の粗密に対応することができます

ナノ構造オプティクス、平面レンズ、細胞培養シート、など表面への樹脂ナノパターンの付与、樹脂マスクを利用したリソグラフィ加工に用いることができます

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