光学式精密運動計測センサおよび外部標準が不要な校正法の開発


更新:2024/07/18
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概要

広波長帯域光源を用いた角度センサに対して、用いられる回折格子の格子定数や検出器の設置誤差などを外部の測定器なしで決定する方法を開発した。本手法は上位の参照基準が不要となる方法であり、光周波数コムを用いた測定とも相性が良い。

従来技術との比較

広波長帯域光源を用いた角度センサでは、光周波数コムのような周波数高精度光源を用いても、用いる回折格子の格子定数や検出器の設置誤差などを既知とするか外部の測定器で校正して測定を行っていた。

特徴・独自性
  • 移動ステージやロータリエンコーダなどの校正に用いることができる正確な角度計測が可能。
  • エンコーダなどに用いる回折格子定数の10ピコメートルレベルの決定が可能。
  • 原子時計と光周波数コムを組み合わせた角度計測に適用することで、研究室内で外部標準の不要な校正された角度計測系が構築可能。
実用化イメージ

・波長測定精度の向上には光周波数コムの高速・高安定化技術が必要であり、これらの技術を持つ企業等との共同研究を希望。
・トレーサビリティ認定に本技術を適用可否について検討できる企業等とも共同研究を希望。

キーワード

研究者

大学院工学研究科
ファインメカニクス専攻
ナノメカニクス講座(精密ナノ計測学分野)

松隈 啓 准教授 
博士(工学)(京都大学)/修士(工学)(京都大学)

Hiraku Matsukuma, Associate Professor

レーザーや分光学を駆使した光工学を専門とし、近年は特にレーザーによる精密運動計測に取り組んでいます。