東北大学 研究シーズ集

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原子拡散接合法(新しい室温接合技術)とその応用

更新:2021-07-12
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特徴・独自性

原子拡散接合法は、同種・異種のウエハ等を室温で接合する、我々が提案した新しい技術です。超高真空中の接合では、非常に薄い金属膜を用いた接合が可能であり、接合界面における優れた光の透過性、低い導電性等を利用した新機能デバイスの形成に利用できます。大気中の接合は、接合膜がAu等に限定されるものの利便性が高いため、セラミクスや金属のバルク材やポリマー等の異種材料を室温で接合する研究にも展開しています。

産学連携の可能性 (想定される用途・業界)

新しい電子デバイス、光学デバイス、パワーデバイス、MEMS、ポリマー等の有機系デバイスの形成や、精密機器部品等への展開が期待され、一部は実際のデバイス形成技術として既に利用されています。

研究者

学際科学フロンティア研究所 先端学際基幹研究部 情報・システム研究領域

島津 武仁 教授 
工学博士

SHIMATSU Takehito, Professor

キーワード

関連情報

[1] T. Shimatsu and M. Uomoto, J. Vac. Sci. Technol., B 28, 705 (2010).
[2] T. Shimatsu and M. Uomoto, ECS Transactions, vol. 33, no. 4, 61 (2010).
[3] T. Shimatsu and M. Uomoto, ECS Transactions vol. 64, no. 5, 317(2014).
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