試作コインランドリ −MEMS・半導体試作共用設備−
更新：2022-05-31
特徴・独自性
4 インチ、6インチ、一部8インチのMEMSを中心とした半導体試作開発のための共用設備で、必要な装置を必要なときに時間単位でお使いいただけます。東北大学に蓄積された関連ノウハウが利用可能で、スタッフが試作を最大限支援します。東北大学西澤潤一記念研究センターの2 階スーパークリーンルームのうち、約1,200m2を主に利用しています。装置、料金については、ホームページをご覧ください。産学連携の可能性 （想定される用途・業界）
10年間で280以上の企業が利用しています。MEMS等のデバイスメーカーはもちろん、材料や機械部品メーカー、装置メーカーからも利用があります。各種センサや光学部品、微細金型作製等にお応えできます。研究者
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関連情報
Top Researchers 2018年10月 試作コインランドリの運営を通じて、企業のイノベーションを推進する http://top-researchers.com/?p=1958
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