原子拡散接合法(新しい室温接合技術)とその応用
更新:2022/06/13
- 特徴・独自性
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- 原子拡散接合法(Atomic Diffusion Bonding, ADB)は、同種・異種のウエハ等を室温で接合する、我々が提案した新しい技術です。標準的なADBは、超高真空中で薄い金属膜を使って接合する技術ですが、最近、酸化膜や窒化膜を使ったADB開発にも成功し、接合界面の機能を更に向上させました。また、Au膜等を用いた大気中接合は、利便性が高く、優れた熱伝導性等を実現できます。
- 実用化イメージ
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新しい電子デバイス、光学デバイス、パワーデバイス、MEMS、ポリマー等の有機系デバイスの形成や、精密機器部品等への展開が期待され、一部は実際のデバイス形成技術として既に利用されています。
- キーワード
研究者
高等研究機構学際科学フロンティア研究所
先端学際基幹研究部
情報・システム研究領域
島津 武仁 教授
博士(工学)(東北大学)
Takehito Shimatsu, Professor