固液界面真空プロセスの開発とその応用
更新:2024/05/29
- 特徴・独自性
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- 様々な物質の液体状態を、高真空環境下で安定化させ、そのマイクロ/ナノレベルの成形技術や診断技術の開発,また,物性測定による新現象の発見,およびそのプロセス応用に取り組んでいる。特に、膜厚が数nmのイオン液体膜の作製や単結晶品質のSiCなどの無機薄膜の高速VLS成長、イオン液体を介した有機半導体、高分子薄膜・結晶材料のプロセスは,世界的にも類を見ない独自技術である。
- 実用化イメージ
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wet系プロセスの利点を真空プロセスに取り入れた次世代の半導体プロセスへの応用開発、有機半導体の新しい精製技術の開発,イオン液体を介した蒸着法による再結晶が困難な有機化合物の単結晶の試作など。
- キーワード
研究者
大学院工学研究科
応用化学専攻
原子・分子制御工学講座
松本 祐司 教授
修士(理学)(東京大学)/博士(理学)(東京大学)
Yuji Matsumoto, Professor