ポリイミドより強靭な樹脂モールド
https://www.t-technoarch.co.jp/data/anken/T11-053.pdf

無機ナノ粒子が高含有率で存在するためシランカップリング剤による表面処理により、繰り返し離型が可能な離型層を付与することができます。有機無機ハイブリッド化により、高強度と高耐久性を実現しました。

• ・極細の45nmのライン-アンド-スペースパターンの繰返し転写が行えます。
• ・室温での光ナノインプリント成形にて、モールドを作製することができます。

ナノ構造オプティクス、平面レンズなどの光学用途をはじめ、様々な光学・電気デバイスの材料加工を行うための成形型としての活躍が期待されます。

• 発明案件（特許等）
• 樹脂
• 樹脂モールド
• モールド
• ナノインプリント