ナノメータースケール表面振動分光の開発とデバイス評価
更新：2020-06-16
特徴・独自性
近年、シリコンデバイス技術における微細化に対する限界が認識されるようになり、新しい動作原理や新奇材料に基づくデバイス技術が活発に研究されている。このような技術開発では数十 nm以下のサイズのデバイス開発から開始されるため、従来の分光手法で検証することが困難な高い位置分解能を有する材料評価手法の開発が現在求められている。我々の研究グループは、走査トンネル顕微鏡をベースとした発光分光計測により材料の光電子物性を原子分解能で明らかにすることを得意としている。産学連携の可能性 （想定される用途・業界）
特に本研究課題では、ナノメートル・スケールの位置分解能での振動分光を可能にする新しい技術の開発とデバイス評価への応用を意図したものであり、この技術を産業界で活用したい企業や団体との共同研究を希望する。研究者
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関連情報
S. Katano, M. Hotsuki, Y. Uehara, J. Phys. Chem. C 120 (2016) 28575.
Y. Uehara, M. Kuwahara, S. Katano, Solid State Commun. 177 (2014) 29.
片野諭, 上原洋一, 応用物理 80 (2011) 960.
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