研究シーズ詳細情報（No.28）ナノ・マイクロ粒子の静電輸送による微粒子超音速流動加工の高性能化

ナノ・マイクロ粒子の静電輸送による微粒子超音速流動加工の高性能化

更新：2020/06/16

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特徴・独自性

ナノ・マイクロ粒子超音速流動加工は、微粒子を非熱の高速ジェット中に注入し、粒子を基板に高速衝突させることにより基板上に皮膜を形成する省エネルギー型成膜法である。本研究では、微粒子動態を考慮した超音速流動モデルおよび皮膜形成モデルを統合した新たなモデルを提案した。また、最先端歯科医療等への本成膜法の革新的応用を想定し、実機を対象として実時間数値計算と実験の統合解析を行い、本プロセスの高性能化を行った。さらに、静電気力を用いた帯電ナノ粒子の加速制御により、微小空間において衝撃波や複雑干渉を伴う極限環境下でのナノ粒子高速輸送を可能にし、成膜効率が向上することを数値計算により示した。
なお、本研究は、2008 年度日本機械学会奨励賞( 研究) を受賞した。本技術を産業界で活用したい企業や団体との共同研究を希望する。

キーワード

流体科学研究所

高奈秀匡教授
博士（工学）（東京工業大学）／修士（工学）（東京工業大学）

Hidemasa Takana, Professor