精密加工品の形状および精密機械の運動を必要な精度で計測するという精密ものづくり計測の研究に取り組んでいます。独自の計測原理に基づいて、グレーティングなどの微細格子と波動光学系を組み合わせることによって、超精密ものづくり計測の基本道具となる高精度かつコンパクトな多軸変位、角度センサを実現させています。各種超精密およびマイクロ加工品の形状を高速高精度に測定する実用的なシステムの開発も行っています。

多軸変位、角度センサは半導体および電子部品製造・検査装置、超精密加工機、超精密測定機の運動計測に活用され、また、形状測定システムは超精密加工分野で利用されることを期待して、産業界との共同研究を希望します。

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