光学を基礎としたマイクロ光学デバイスの設計・製作，特に光応用のMEMSや光センサ
更新：2021-07-07
特徴・独自性
光センサや光学系の設計等、光工学を基礎として、機械の運動測定やレーザーを用いた分光や非接触測定などの技術を研究している。また、半導体微細加工を利用して、集積型のマイクロ光センサ、マイクロ機械を組み合わせた光スキャナー、光通信用のスイッチなどの可変光デバイスを研究している（光MEMS）。産学連携の可能性 （想定される用途・業界）
光学設計、光計測産業、半導体マイクロマシニングおよびMEMS などに関連した産業など。研究者
未来科学技術共同研究センター 開発研究部 安心安全センサネットワークノードモジュールの研究開発及び事業化プロジェクト
羽根 一博
教授
工学博士
HANE Kazuhiro, Professor
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