研究シーズ詳細情報（No.120）光学を基礎としたマイクロ光学デバイスの設計・製作，特に光応用のMEMSや光センサ

光学を基礎としたマイクロ光学デバイスの設計・製作，特に光応用のMEMSや光センサ

更新：2021/07/07

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特徴・独自性

光センサや光学系の設計等、光工学を基礎として、機械の運動測定やレーザーを用いた分光や非接触測定などの技術を研究している。また、半導体微細加工を利用して、集積型のマイクロ光センサ、マイクロ機械を組み合わせた光スキャナー、光通信用のスイッチなどの可変光デバイスを研究している（光MEMS）。

実用化イメージ

光学設計、光計測産業、半導体マイクロマシニングおよびMEMS などに関連した産業など。

キーワード

未来科学技術共同研究センター
開発研究部
安全・安心マイクロシステムの研究開発

羽根一博特任教授（研究）
工学博士（名古屋大学）

Kazuhiro Hane, Specially Appointed Professor(Research)

研究室ウェブサイト

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