型の線幅よりも微細な金属配線パターンの作製が可能!
更新:2024/01/23
- 概要
湿式エッチングでサブマイクロ線幅の金属配線付き基板を作製する方法
https://www.t-technoarch.co.jp/data/anken/T11-050.pdf- 従来技術との比較
従来のフォトレジストマスクをウエットエッチングに用いた場合、金属配線幅は約10μmが下限でした。エッチング耐性に優れたレジストの熱ナノインプリント成形で、線幅0.1μmの金属配線の作製に成功しました。
- 特徴・独自性
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- 金・銀・銅・クロムなどのウエットエッチング加工が可能です
- 金属と有機レジストを化学結合を介してつなぐ分子接着剤を用いています
- サイドエッチングによる狭線化が可能なため、マイクロサイズの金属線幅をサブミクロンサイズまで縮小することが可能です
- 実用化イメージ
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透明導電パネル・磁気シールドフィルム・帯電防止シートなどへの利用が考えられます。ウエットエッチング方式での加工なので、ロールtoロール製法にも対応が期待できます。
- キーワード
研究者
多元物質科学研究所
附属マテリアル・計測ハイブリッド研究センター
光機能材料化学研究分野
中川 勝 教授
博士(工学)(上智大学)/修士(工学)(上智大学)
Masaru Nakagawa, Professor